遠距電漿產生器 | 寵物吃什麼好
1.應用薄膜電晶體液晶顯示器/低溫多晶矽薄膜電晶體液晶顯示器/有機發光顯示器/半導體薄膜電晶體液晶顯示器(Thinfilmtransistorliquidcrystaldisplay,簡稱為 ...,遠距電漿系統透過微波氬氣產生的電漿,將氟化氮分解成氮氣和游離的氟離子,進入腔體後,藉由氟離子強大的活性,去除製程中剩餘的二氧化矽,達成製程腔體內的清潔作用。,因此,可以以較低的功率電平操作CCP,以僅產生部分離解的含氟前驅物。部分解離可以減少F*自由基物種的量,使得含氟電漿流出物基本上由NF*和NF2*物種所組成。舉例來說, ...,2020年12月21日—MAXstream也...
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遠距電漿產生器維修銷售 | 寵物吃什麼好
1. 應用 薄膜電晶體液晶顯示器/ 低溫多晶矽薄膜電晶體液晶顯示器/ 有機發光顯示器/ 半導體 薄膜電晶體液晶顯示器(Thin film transistor liquid crystal display,簡稱為 ... Read More
遠程電漿系統應用於化學氣相沉積腔體清潔流場之模擬 | 寵物吃什麼好
遠距電漿系統透過微波氬氣產生的電漿,將氟化氮分解成氮氣和游離的氟離子,進入腔體後,藉由氟離子強大的活性,去除製程中剩餘的二氧化矽,達成製程腔體內的清潔作用。 Read More
使用遠端電漿源之加強式蝕刻製程 | 寵物吃什麼好
因此,可以以較低的功率電平操作CCP,以僅產生部分離解的含氟前驅物。 部分解離可以減少F*自由基物種的量,使得含氟電漿流出物基本上由NF*和NF2*物種所組成。舉例來說, ... Read More
Advanced Energy推出遠端電漿源產品系列提升清洗系統穩定性 | 寵物吃什麼好
2020年12月21日 — MAXstream也充分利用Advanced Energy使用多年並證實有效的分離電漿源物料和相關技術,確保可延長製程反應室的壽命周期以及減少由此而產生的微粒。 Read More
Chapter 7 電漿的基礎原理 | 寵物吃什麼好
說明電漿如何增強蝕刻及CVD 製程. • 列出兩種高密度電漿源 ... 電漿是具有等量正電荷和負電荷的離子氣體 ... 遠端電漿. 產生室. 自由基. 加熱板. 遠距電漿系統 ... Read More
遠距電漿清潔 | 寵物吃什麼好
電漿系統. 電漿. 射頻功率. 暗區或. 鞘層. 電極. 到真空幫浦..... 電漿. 微波或射頻功率. 製程反應室. 副產物被真. 空幫浦抽走. 遠端電漿. 產生室. 自由基. 加熱板. 遠距電 ... Read More
Advanced Energy | 寵物吃什麼好
2021年7月16日 — 半導體、面板、LED、太陽能製程設備所使用之無線射頻電源(RF電源)、匹配器(Matching Network)、直流、交流、超高電壓電源供應器及遠距電漿 ... Read More
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